1. ການສັງເຄາະດ້ວຍໂຊວໂທຣມອລ
1. ດິບອັດຕາສ່ວນວັດສະດຸ
ຜົງສັງກະສີ ແລະ ຜົງຊີລີນຽມຖືກປະສົມໃນອັດຕາສ່ວນໂມລາ 1:1, ແລະ ນ້ຳທີ່ບໍ່ມີໄອອອນ ຫຼື ເອທິລີນໄກຄໍ ຖືກເພີ່ມເຂົ້າເປັນຕົວລະລາຍ 35.
2.ເງື່ອນໄຂປະຕິກິລິຍາ
ອຸນຫະພູມປະຕິກິລິຍາ: 180-220°C
o ເວລາຕອບສະໜອງ: 12-24 ຊົ່ວໂມງ
o ຄວາມດັນ: ຮັກສາຄວາມດັນທີ່ສ້າງຂຶ້ນເອງໃນໝໍ້ຕົ້ມປະຕິກິລິຍາທີ່ປິດ.
ການປະສົມປະສານໂດຍກົງຂອງສັງກະສີ ແລະ ຊີລີນຽມ ແມ່ນໄດ້ຮັບການອຳນວຍຄວາມສະດວກໂດຍການໃຫ້ຄວາມຮ້ອນເພື່ອສ້າງຜລຶກສັງກະສີຊີລີໄນດ໌ຂະໜາດນາໂນ 35.
3.ຂະບວນການຫຼັງການປິ່ນປົວ
ຫຼັງຈາກປະຕິກິລິຍາ, ມັນໄດ້ຖືກປั่นແຍກ, ລ້າງດ້ວຍແອມໂມເນຍເຈືອຈາງ (80 °C), ເມທານອນ, ແລະ ອົບແຫ້ງດ້ວຍສູນຍາກາດ (120 °C, P₂O₅).ບາເທນຜົງ > 99.9% ຄວາມບໍລິສຸດ 13.
2. ວິທີການວາງໄອນ້ຳເຄມີ
1.ການປຸງແຕ່ງວັດຖຸດິບກ່ອນ
o ຄວາມບໍລິສຸດຂອງວັດຖຸດິບສັງກະສີແມ່ນ ≥ 99.99% ແລະວາງໄວ້ໃນຖ້ວຍແກຣໄຟ
o ອາຍແກັສໄຮໂດຣເຈນຊີເລໄນດ໌ຖືກຂົນສົ່ງໂດຍອາຍແກັສອາກອນ6.
2.ການຄວບຄຸມອຸນຫະພູມ
o ເຂດລະເຫີຍສັງກະສີ: 850-900°C
o ເຂດການຕົກຄ້າງ: 450-500°C
ການຕົກຕະກອນທາງທິດທາງຂອງໄອສັງກະສີ ແລະ ໄຮໂດຣເຈນຊີເລໄນດ໌ ໂດຍການປັບປ່ຽນອຸນຫະພູມ 6.
3.ພາລາມິເຕີອາຍແກັສ
o ການໄຫຼຂອງອາກອນ: 5-10 ລິດ/ນາທີ
o ຄວາມດັນບາງສ່ວນຂອງໄຮໂດຣເຈນຊີເລໄນດ໌:0.1-0.3 ຕູ້ເອທີເອັມ
ອັດຕາການຕົກຕະກອນສາມາດບັນລຸ 0.5-1.2 ມມ/ຊົ່ວໂມງ, ເຊິ່ງເຮັດໃຫ້ເກີດສັງກະສີ selenide 6 ທີ່ມີຄວາມໜາ 60-100 ມມ..
3. ວິທີການສັງເຄາະໂດຍກົງຂອງແຂງ
1. ດິບການຈັດການວັດສະດຸ
ສານລະລາຍຊິງຄລໍໄຣດ໌ໄດ້ຖືກປະຕິກິລິຍາກັບສານລະລາຍກົດອົກຊາລິກເພື່ອສ້າງເປັນຕະກອນຊິງອົກຊາເລດ, ເຊິ່ງຖືກຕາກແຫ້ງ ແລະ ບົດໃຫ້ລະອຽດ ແລະ ປະສົມກັບຜົງຊີລີນຽມໃນອັດຕາສ່ວນ 1:1.05 ໂມລາ 4..
2.ພາລາມິເຕີປະຕິກິລິຍາຄວາມຮ້ອນ
ອຸນຫະພູມເຕົາອົບຫຼອດສູນຍາກາດ: 600-650°C
o ຮັກສາຄວາມອົບອຸ່ນໄດ້: 4-6 ຊົ່ວໂມງ
ຜົງສັງກະສີ selenide ທີ່ມີຂະໜາດອະນຸພາກ 2-10 μm ແມ່ນຜະລິດໂດຍປະຕິກິລິຍາການແຜ່ກະຈາຍໄລຍະແຂງ 4.
ການປຽບທຽບຂະບວນການທີ່ສຳຄັນ
| ວິທີການ | ພູມສັນຖານຜະລິດຕະພັນ | ຂະໜາດຂອງອະນຸພາກ/ຄວາມໜາ | ຄວາມເປັນຜລຶກ | ຂົງເຂດການນຳໃຊ້ |
| ວິທີການ Solvothermal 35 | ບານນາໂນ/ໄມ້ | 20-100 ນາໂນແມັດ | ກ້ອນສະຟາເລໄຣດ໌ | ອຸປະກອນອອບໂຕເອເລັກໂຕຣນິກ |
| ການຕົກຕະກອນໄອນ້ຳ 6 | ບລັອກໂພລີຄຣິສຕັນ | 60-100 ມມ | ໂຄງສ້າງຫົກຫຼ່ຽມ | ກ້ອງສ່ອງທາງໄກອິນຟາເຣດ |
| ວິທີການແຂງ-ເຟສ 4 | ຜົງຂະໜາດໄມຄຣອນ | 2-10 ໄມໂຄຣມ | ໄລຍະກ້ອນ | ສານຕັ້ງຕົ້ນຂອງວັດສະດຸອິນຟາເຣດ |
ຈຸດສຳຄັນຂອງການຄວບຄຸມຂະບວນການພິເສດ: ວິທີການ solvothermal ຈຳເປັນຕ້ອງເພີ່ມສານເຄມີທີ່ເຮັດໃຫ້ເກີດການລະລາຍເຊັ່ນ: ກົດ oleic ເພື່ອຄວບຄຸມຮູບຮ່າງ 5, ແລະ ການຕົກຕະກອນດ້ວຍໄອນ້ຳຮຽກຮ້ອງໃຫ້ຄວາມຫຍາບຂອງຊັ້ນຮອງພື້ນ < Ra20 ເພື່ອຮັບປະກັນຄວາມເປັນເອກະພາບຂອງການຕົກຕະກອນ 6.
1. ການຕົກຕະກອນໄອທາງກາຍະພາບ (PVD).
1.ເສັ້ນທາງເທັກໂນໂລຢີ
o ວັດຖຸດິບສັງກະສີ selenide ຖືກລະເຫີຍໃນສະພາບແວດລ້ອມສູນຍາກາດ ແລະ ວາງໄວ້ເທິງໜ້າດິນຂອງຊັ້ນຮອງໂດຍໃຊ້ເຕັກໂນໂລຊີການສະເປເຕີຣິງ ຫຼື ການລະເຫີຍດ້ວຍຄວາມຮ້ອນ12.
o ແຫຼ່ງລະເຫີຍຂອງສັງກະສີ ແລະ ຊີລີນຽມຖືກໃຫ້ຄວາມຮ້ອນຕາມລະດັບອຸນຫະພູມທີ່ແຕກຕ່າງກັນ (ເຂດລະເຫີຍສັງກະສີ: 800–850 °C, ເຂດລະເຫີຍຊີລີນຽມ: 450–500 °C), ແລະອັດຕາສ່ວນສະໂຕຄິໂອເມຕຣິກຖືກຄວບຄຸມໂດຍການຄວບຄຸມອັດຕາການລະເຫີຍ12.
2.ການຄວບຄຸມພາລາມິເຕີ
o ສູນຍາກາດ: ≤1×10⁻³ Pa
o ອຸນຫະພູມພື້ນຖານ: 200–400°C
ອັດຕາການຕົກຕະກອນ:0.2–1.0 ນາໂນແມັດ/ວິນາທີ
ຟິມສັງກະສີ selenide ທີ່ມີຄວາມໜາ 50–500 nm ສາມາດກະກຽມສຳລັບການນຳໃຊ້ໃນແສງອິນຟາເຣດ 25.
2ວິທີການເຈາະລູກບານແບບກົນຈັກ
1.ການຈັດການວັດຖຸດິບ
o ຜົງສັງກະສີ (ຄວາມບໍລິສຸດ ≥ 99.9%) ຖືກປະສົມກັບຜົງຊີລີນຽມໃນອັດຕາສ່ວນໂມລາ 1:1 ແລະ ໃສ່ລົງໃນໂຖໂຮງງານບານສະແຕນເລດ 23.
2.ພາລາມິເຕີຂະບວນການ
o ເວລາບົດລູກບານ: 10–20 ຊົ່ວໂມງ
ຄວາມໄວ: 300–500 ຮອບຕໍ່ນາທີ
ອັດຕາສ່ວນເມັດ: 10:1 (ລູກບານບົດເຊີໂຄເນຍ).
ອະນຸພາກສັງກະສີ selenide ທີ່ມີຂະໜາດອະນຸພາກ 50–200 nm ໄດ້ຖືກສ້າງຂຶ້ນໂດຍປະຕິກິລິຍາໂລຫະປະສົມກົນຈັກ, ມີຄວາມບໍລິສຸດ >99% 23.
3. ວິທີການເຜົາໄໝ້ແບບກົດຮ້ອນ
1.ການກະກຽມສານຕັ້ງຕົ້ນ
o ຜົງສັງກະສີເຊເລໄນດ໌ນາໂນ (ຂະໜາດອະນຸພາກ < 100 nm) ສັງເຄາະໂດຍວິທີການໂຊວເວີເທີມເປັນວັດຖຸດິບ 4.
2.ພາລາມິເຕີການເຜົາໄໝ້
ອຸນຫະພູມ: 800–1000°C
o ຄວາມດັນ: 30–50 MPa
ຮັກສາຄວາມອົບອຸ່ນ: 2–4 ຊົ່ວໂມງ
ຜະລິດຕະພັນມີຄວາມໜາແໜ້ນ > 98% ແລະສາມາດປຸງແຕ່ງເປັນອົງປະກອບທາງແສງຂະໜາດໃຫຍ່ເຊັ່ນ: ປ່ອງຢ້ຽມອິນຟາເຣດ ຫຼື ເລນ 45.
4. epitaxy ລຳແສງໂມເລກຸນ (ທະນາຄານກາງ).
1.ສະພາບແວດລ້ອມສູນຍາກາດສູງພິເສດ
o ສູນຍາກາດ: ≤1×10⁻⁷ Pa
o ລຳແສງໂມເລກຸນສັງກະສີ ແລະ ຊີລີນຽມ ຄວບຄຸມການໄຫຼຜ່ານແຫຼ່ງລະເຫີຍລຳແສງເອເລັກຕຣອນໄດ້ຢ່າງແນ່ນອນ6.
2.ຕົວກໍານົດການເຕີບໃຫຍ່
o ອຸນຫະພູມພື້ນຖານ: 300–500°C (GaAs ຫຼື ຊັບສະເຕຣດ sapphire ສ່ວນຫຼາຍແມ່ນໃຊ້).
ອັດຕາການເຕີບໂຕ:0.1–0.5 ນາໂນແມັດ/ວິນາທີ
ຟິມບາງສັງກະສີ selenide ຜລຶກດຽວສາມາດກະກຽມໄດ້ໃນລະດັບຄວາມໜາ 0.1–5 μm ສຳລັບອຸປະກອນ optoelectronic ທີ່ມີຄວາມແມ່ນຍໍາສູງ 56.
ເວລາໂພສ: ເມສາ-23-2025